[实用新型]一种半导体抽真空封装模具有效
申请号: | 201820333033.1 | 申请日: | 2018-03-12 |
公开(公告)号: | CN208157364U | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 高小平 | 申请(专利权)人: | 南通尚明精密模具有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人: | 张红;程立民 |
地址: | 226000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体抽真空封装模具,包括真空封装模具本体、模具基座、模具压盖,在真空封装模具本体上设有抽气管、二级基座、封装槽、定位柱、一级基座、第一封装槽、填料嘴、加热轨道、封装槽固定块、排气马达、封装槽连接头、密封槽、气缸、推料轨道、连接法兰、隔离槽、第二封装槽、封装槽调节器、拨料针、温控器,真空封装模具本体通过抽真空,使产品在真空工艺条件下外观质量得到明显改善,提升其成品率,符合产业利用及推广,其结构简单,科学合理,投资成本低并且操作运行简便,维护检修十分方便。 | ||
搜索关键词: | 封装槽 模具本体 真空封装 抽真空 封装模具 半导体 本实用新型 调节器 加热轨道 连接法兰 模具基座 推料轨道 真空工艺 成品率 抽气管 定位柱 隔离槽 固定块 连接头 密封槽 填料嘴 温控器 拨料 气缸 压盖 马达 排气 模具 检修 维护 投资 | ||
【主权项】:
1.一种半导体抽真空封装模具,包括真空封装模具本体(1)、模具基座(2)、模具压盖(3),其特征在于:所述真空封装模具本体(1)上设有模具基座(2),模具基座(2)上设有一级基座(8),所述一级基座(8)的中间上方设有二级基座(5),所述二级基座(5)上设有第二封装槽(20),所述第二封装槽(20)的右侧设有第一封装槽(9),第一封装槽(9)与第二封装槽(20)之间设有隔离槽(19),所述模具基座(2)的上方设有模具压盖(3),所述模具基座(2)与模具压盖(3)的左端均设有抽气管(4),所述一级基座(8)、二级基座(5)之间两侧连接处设有定位柱(7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造