[实用新型]一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统有效
| 申请号： | 201820333792.8 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN208283269U | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 刘劲松;牛丽婷;杨振刚;王可嘉 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青;廖盈春 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统，包括：太赫兹发射源、准直透镜、硅片、衍射元件、聚焦透镜、太赫兹探测器、样品台、样品台移动装置、锁相放大器及控制模块；准直透镜、硅片、衍射元件及样品台沿透射方向依次设置；硅片的中心位于透射波束的中心轴线上，并且与中心轴线夹角为45°；准直透镜和衍射元件的主光轴均位于透射波束的中心轴线上；衍射元件使得透射波束成为零阶贝塞尔波束；聚焦透镜主光轴位于反射光路上并且与透射波束的中心轴线垂直；太赫兹探测器位于聚焦透镜的焦平面上；太赫兹探测器与锁相放大器相连；控制模块分别与样品台移动装置和锁相放大器相连。本实用新型可同时提供高成像质量和大景深。 | ||
| 搜索关键词： | 透射波束 衍射元件 波束 太赫兹探测器 锁相放大器 聚焦透镜 中心轴线 准直透镜 硅片 零阶 反射成像系统 本实用新型 样品台移动 控制模块 样品台 主光轴 太赫兹发射源 中心轴线夹角 透射方向 依次设置 大景深 反射光 焦平面 成像 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种基于零阶贝塞尔波束的太赫兹反射成像系统，其特征在于，包括：太赫兹发射源(1)、准直透镜(3)、硅片(4)、衍射元件(5)、聚焦透镜(6)、太赫兹探测器(7)、样品台(8)、样品台移动装置(9)、锁相放大器(10)以及控制模块(11)；所述太赫兹发射源(1)用于发射太赫兹高斯波束；所述准直透镜(3)、所述硅片(4)、所述衍射元件(5)以及所述样品台(8)沿太赫兹高斯波束的透射方向依次设置；所述硅片(4)的中心位于透射波束的中心轴线上，并且所述硅片(4)与透射波束的中心轴线夹角为45°；所述准直透镜(3)和所述衍射元件(5)的主光轴均位于透射波束的中心轴线上；所述样品台(8)垂直于透射波束的中心轴线；所述聚焦透镜(6)的主光轴位于反射光路上并且与透射波束的中心轴线垂直；所述太赫兹探测器(7)位于所述聚焦透镜(6)的焦平面上；所述太赫兹探测器(7)与所述锁相放大器(10)相连；所述控制模块(11)分别与所述样品台移动装置(9)和所述锁相放大器(10)相连。
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