[实用新型]一种光学真空镀膜机抽气装置

摘要

本实用新型公开了一种光学真空镀膜机抽气装置，包括机械泵、罗茨泵、抽气管道、波纹管、旁路阀、高真空阀、真空室、工件盘、隔热板、箱体底架、扩散泵、冷阱和抽气管道支架；本实用新型的有益效果在于，通过旁路阀和预阀的设计，使得真空处理之前进行粉尘清除处理；此外，真空室内的隔热板设计，对真空室起到分隔作用，避免比较强的对流气体带起杂质对隔热板上方真空室的工件造成二次污染。

主权项

1.一种光学真空镀膜机抽气装置，其特征在于：包括机械泵、罗茨泵、抽气管道、波纹管、旁路阀、高真空阀、真空室、工件盘、隔热板、箱体底架、扩散泵、冷阱和抽气管道支架；所述的机械泵设置在地面，并且所述的罗茨泵设置在所述的机械泵顶部；机械泵输出管道设置在所述的机械泵和罗茨泵之间；所述的机械泵输出管道为90°金属弯管，并且一端接所述的机械泵，另一端接所述的罗茨泵；所述的扩散泵设置在所述的机械泵一侧；所述的高真空阀设置在所述的扩散泵上方，并且所述的冷阱所述的高真空阀与扩散泵之间；所述的扩散泵上部设置有所述的抽气管道，并且所述的抽气管道为90°金属弯管；所述的抽气管道经所述的抽气管道支架支撑；所述的罗茨泵和扩散泵之间设置有四通管，并且所述的四通管的四个通路分别连接所述的抽气管道、扩散泵管道、旁路阀和预阀；所述的扩散泵管道中部设置有所述的波纹管，并且所述的扩散泵管道另一端接所述的扩散泵；所述的旁路阀另一端接预抽管道，并且所述的预抽管道另一端接所述的真空室；所述的预阀另一端接所述的高真空管道，并且所述的高真空管道另一端接所述的高真空室；所述的扩散泵远离所述的机械泵一侧设置有所述的箱体底架，并且所述的真空室设置在所述的箱体底架上部；所述的真空室底部设置有所述的隔热板，上部设置有所述的工件盘。