[实用新型]太阳能电池硅片扩散石英舟有效
| 申请号： | 201820335925.5 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN207883667U | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 马房成;孙涌涛 | 申请（专利权）人： | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 322118 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型的目的是提供一种太阳能电池硅片扩散石英舟。一种太阳能电池硅片扩散石英舟，包括：舟体；所述的太阳能电池硅片扩散石英舟还包括：两个石英挡板；舟体包括：两个内侧各设有若干个竖向硅片插槽的侧板，两个两侧端与两个侧板一一对应连接的端板，设有通气孔且分别与侧板下端和端板下端连接的底板；两个石英挡板一一对应位于两个端板内侧，石英挡板的两侧端与两个侧板一一对应连接。该太阳能电池硅片扩散石英舟设有两个一一对应位于两个端板内侧的石英挡板，扩散处理后位于硅片排两端最外侧的硅片方阻能达到技术要求提高成品率；竖向硅片插槽利于扩散处理时硅片稳固；通气孔利于提高扩散处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池硅片 石英舟 石英挡板 侧板 端板 扩散 扩散处理 硅片 硅片插槽 通气孔 竖向 下端 舟体 底板 本实用新型 技术要求 成品率 方阻 稳固 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能电池硅片扩散石英舟，包括：舟体；其特征是，所述的太阳能电池硅片扩散石英舟还包括：两个石英挡板；舟体包括：两个内侧各设有若干个竖向硅片插槽的侧板，两个两侧端与两个侧板一一对应连接的端板，设有通气孔且分别与侧板下端和端板下端连接的底板；两个石英挡板一一对应位于两个端板内侧，石英挡板的两侧端与两个侧板一一对应连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
