[实用新型]一种旋转加热中均匀导热以保护基片质量的结构有效
| 申请号： | 201820339459.8 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN208407524U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 宣海;曹喜喜;陈酉冰 | 申请（专利权）人： | 江苏雷博科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B05C9/14 | 分类号： | B05C9/14;B05C13/02 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种旋转加热中均匀导热以保护基片质量的结构，所述结构包含有加热支撑底板(1)，所述加热支撑底板(1)上设置有加热片(2)，内嵌式载物盘(3)压合在加热片(2)上，所述内嵌式载物盘(3)上粘附有导热硅胶(4)。本实用新型一种旋转加热中均匀导热以保护基片质量的结构，能够在保证基片粘附的同时、保证其加热均匀性和外形完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 导热 旋转加热 本实用新型 支撑底板 加热片 内嵌式 载物盘 加热 加热均匀性 导热硅胶 粘附的 压合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种旋转加热中均匀导热以保护基片质量的结构，其特征在于：所述结构包含有加热支撑底板(1)，所述加热支撑底板(1)上设置有加热片(2)，内嵌式载物盘(3)压合在加热片(2)上，所述内嵌式载物盘(3)上粘附有导热硅胶(4)。
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B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置
B05C9-00 把液体或其他流体涂于表面的装置或设备，所采用的方法未包含在B05C 1/00至B05C 7/00组，或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9-02 .对表面涂布液体或其他流体采用B05C 1/00至B05C 7/00中未包含的一个方法，不论是否还使用其他的方法
B05C9-04 .对工件的相对面涂布液体或其他流体
B05C9-06 .对工件的同一个面要求涂布两种不同的液体或其他流体，或者用同一种液体或其他流体涂布二次
B05C9-08 .涂布液体或其他流体并完成辅助操作
B05C9-10 ..在涂布之前完成辅助操作
