[实用新型]一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构有效
| 申请号： | 201820339579.8 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN209020699U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 宣海;曹喜喜;陈酉冰 | 申请（专利权）人： | 江苏雷博科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C11/06 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构，所述结构包含有盖置于托盘上方的上盖(1)，所述托盘和上盖(1)之间形成加热旋转腔，加热旋转载物盘(4)位于加热旋转腔内；所述托盘的底部设置有环形结构的旋涂内腔(3)，且上盖(1)的底部设置有环形结构的导流台阶(5)，且导流台阶(5)插置于旋涂内腔(3)中，所述上盖(1)的内壁为锥形结构，且上盖(1)的顶部盖壁上设置有排气孔(2)。本实用新型一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构，其能够对匀胶机内气流进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 上盖 托盘 方向保证 气流稳定 本实用新型 环形结构 旋转腔 导流 内腔 旋涂 锥形结构 排气孔 匀胶机 载物盘 盖壁 内壁 | ||
【主权项】：
1.一种加热旋转时控制气流方向保证气流稳定的结构，所述结构包含有盖置于托盘上方的上盖(1)，所述托盘和上盖(1)之间形成加热旋转腔，加热旋转载物盘(4)位于加热旋转腔内；其特征在于：所述托盘的底部设置有环形结构的旋涂内腔(3)，且上盖(1)的底部设置有环形结构的导流台阶(5)，且导流台阶(5)插置于旋涂内腔(3)中，所述上盖(1)的内壁为锥形结构，且上盖(1)的顶部盖壁上设置有排气孔(2)。
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