[实用新型]PL测试仪载物台有效
| 申请号： | 201820346419.6 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN208465927U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 施文贞 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B01L9/00 | 分类号： | B01L9/00;G01N21/63 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊;丘鸿超 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种PL测试仪载物台，包括：外轮廓为圆弧形的PET支撑面；所述PET支撑面上设置有定位装置；所述定位装置将PET支撑面划分为对称的四个象限。本实用新型技术方案及其优选方案结构精巧、成本低廉，不仅大大拓展了普通PL测试仪载物台的适用范围和易用性，也降低了操作的难度和时间成本，适用于研发生产的需求，既能避免对检测结果的影响，又提高了检测1/4和1/2wafer的效率，同时操作更加便捷，具备较高的市场价值和推广前景。 | ||
| 搜索关键词： | 测试仪 定位装置 载物台 支撑面 本实用新型 方案结构 检测结果 时间成本 研发生产 外轮廓 圆弧形 象限 载物 优选 对称 检测 支撑 拓展 | ||
【主权项】：
1.一种PL测试仪载物台，其特征在于，包括：外轮廓为圆弧形的PET支撑面；所述PET支撑面上设置有定位装置；所述定位装置将PET支撑面划分为对称的四个象限；所述定位装置包括四个半径相同的镂空圆面，以及可插入相邻且距离最近的两个镂空圆面的定位钉，其中一个镂空圆面a设置在PET支撑面圆心处，其余三个镂空圆面b、镂空圆面c、镂空圆面d在镂空圆面a 外正交对称分布；所述PET支撑面为漫反射结构层。
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