[实用新型]反应腔室用观察窗组件及反应腔室有效
| 申请号： | 201820348000.4 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN208142129U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 李萌 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种反应腔室用观察窗组件及反应腔室，反应腔室用观察窗组件包括观察窗和保护件，所述保护件套设在所述观察窗的外周壁上，用于防止所述观察窗受外力不当而破碎。反应腔室用观察窗组件的观察窗的外周壁被完全包裹，可以避免受外力不当而破碎。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔室 观察窗组件 观察窗 保护件 外周壁 破碎 | ||
【主权项】：
1.一种反应腔室用观察窗组件，其特征在于，包括观察窗和保护件，所述保护件套设在所述观察窗的外周壁上，用于防止所述观察窗受外力不当而破碎。
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