[实用新型]一种超精密激光位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种超精密激光位移传感器。所述超精密激光位移传感器包括激光发射装置，圆弧形镜面反射装置，激光接收装置，控制器；所述激光发射装置和激光接收装置分别与控制器连接；本实用新型通过在被检测物反射激光到激光接收装置的光路中加入圆弧形镜面反射装置，利用方向相同而入射位置不同的激光束在圆弧形镜面上入射角的变化，使最终投射到激光接收装置上的激光光斑位置发生较大的改变，实现被检测物位移量在激光接收装置上的高倍率放大；在激光接收装置分辨率一定的情况下，可实现对被检测物位移超高精度测量。

主权项

1.一种超精密激光位移传感器，其特征在于，所述超精密激光位移传感器包括激光发射装置(1)，圆弧形镜面反射装置(2)，激光接收装置(3)，控制器(5)；所述激光发射装置(1)与被检测物(4)之间以入射角度α安装；所述圆弧形镜面反射装置(2)的圆心O与激光投射点p00在X方向的安装距离为l1，在Y方向的安装距离为l2；所述激光接收装置(3)与Y方向呈角度β安装，与圆弧形镜面反射装置(2)的圆心O安装距离为l3；所述激光发射装置(1)和激光接收装置(3)分别与控制器(5)连接；所述圆弧形镜面反射装置(2)曲率半径为r；所述控制器(5)包含所述激光发射装置(1)的激光控制模块(51)、所述激光接收装置(3)的信息处理模块(52)、数据计算模块(53)、输出接口模块(54)。