[实用新型]一种感应加热外延炉

摘要

本实用新型公开了一种盖体及感应加热外延炉，所述外延炉包括钟罩和基座，所述顶盖和底盘置于所述基座的两端，基座置于所述钟罩内部，并放置于旋转轴上，进行外延生长的衬底置于基座的指定片坑中。该种外延炉可以解决存在的靠近基座两端的外延层厚度和电阻率不均匀的现象。

主权项

1.一种感应加热外延炉，其特征在于，所述外延炉包括顶盖(1)、底盘(2)、钟罩(7)和基座(8)，所述顶盖(1)和底盘(2)均为一种盖体，所述顶盖(1)和底盘(2)置于所述基座(8)的两端，基座(8)置于所述钟罩(7)内部，并放置于旋转轴(9)上，进行外延生长的衬底(10)置于基座(8)的指定片坑(11)中；所述盖体包括石英内芯和石墨外环，所述石英内芯在内，石墨外环在外，所述石英内芯嵌在所述石墨外环内；所述石英内芯呈圆台形状，所述石墨外环为上下表面为多边形的棱台形状；所述石墨外环中央位置设有贯穿该石墨外环的贯通口，该贯通口内表面为与石英内芯外表面贴合的圆台形状。