[实用新型]坩埚冷却轴有效
| 申请号： | 201820367223.5 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN208055500U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 肖亚东;高鹏飞;黄宇彬 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种坩埚冷却轴，其包括一热电偶、一套管以及一冷却水循环管道，所述热电偶包括一固持端以及自固持端凸伸出的一轴身，所述冷却水循环管道紧贴轴身设置，所述套管包覆于冷却水循环管道和轴身侧周，所述轴身远离固持端上的一端凸伸出套管，所述轴身与套管相接处、固持端与套管相接处均焊接固定，所述管套上开设有一进水口和一出水口，所述进水口和出水口均与冷却水循环管道连通，冷却水自进水口进入冷却水循环管道并自出水口流出。本坩埚冷却轴，能够为半导体晶体的生长过程提供可靠的温度检测数据，成本低廉，结构简单，能够与移动装置进行配合使用，固定牢靠，适用于多种半导体晶体的生长过程。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却水循环管道 固持端 轴身 出水口 进水口 冷却轴 套管 坩埚 半导体晶体 生长过程 热电偶 相接处 温度检测数据 伸出 本实用新型 焊接固定 移动装置 冷却水 套管包 管套 一轴 紧贴 连通 流出 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚冷却轴，其特征在于：其包括一热电偶、一套管以及一冷却水循环管道，所述热电偶包括一固持端以及自固持端凸伸出的一轴身，所述冷却水循环管道紧贴轴身设置，所述套管包覆于冷却水循环管道和轴身侧周，所述轴身远离固持端上的一端凸伸出套管，所述轴身与套管相接处、固持端与套管相接处均焊接固定，所述管套上开设有一进水口和一出水口，所述进水口和出水口均与冷却水循环管道连通，冷却水自进水口进入冷却水循环管道并自出水口流出。
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