[实用新型]高精度对位装置

摘要

一种高精度对位装置，包括底板、UVW平台、立板、固定支架、驱动装置、水平直线导轨、竖直直线导轨、倾斜直线导轨、上倾斜块、下倾斜块、夹紧板、网板玻璃和真空平台板，UVW平台设置在底板上，立板设置在UVW平台上，固定支架设置在立板上，驱动装置设置在固定支架上；水平直线导轨和竖直直线导轨分别设置在固定支架的水平固定板和竖直固定板的内侧壁上，下倾斜块设置在水平直线导轨的水平滑块上，驱动装置的驱动端与下倾斜块连接；倾斜直线导轨设置在上倾斜块的下倾斜面上，下倾斜块的上倾斜面与倾斜直线导轨的倾斜滑块连接，竖直直线导轨的竖直滑块与上倾斜块的竖直侧面连接。本实用新型具有对位精确、工作效率高和结构紧凑等优点。

主权项

1.一种高精度对位装置，其特征在于：包括底板、UVW平台、立板、固定支架、驱动装置、水平直线导轨、竖直直线导轨、倾斜直线导轨、上倾斜块、下倾斜块、夹紧板、网板玻璃和真空平台板，所述UVW平台设置在所述底板上，所述立板设置在所述UVW平台上，所述固定支架设置在所述立板上，所述驱动装置设置在所述固定支架上；所述水平直线导轨和所述竖直直线导轨分别设置在所述固定支架的水平固定板和竖直固定板的内侧壁上，所述下倾斜块设置在所述水平直线导轨的水平滑块上，所述驱动装置的驱动端与所述下倾斜块连接；所述倾斜直线导轨设置在所述上倾斜块的下倾斜面上，所述下倾斜块的上倾斜面与所述倾斜直线导轨的倾斜滑块连接，所述竖直直线导轨的竖直滑块与所述上倾斜块的竖直侧面连接，所述夹紧板设置在所述上倾斜块的上表面上，所述网板玻璃设置在所述真空平台板上，所述夹紧板夹住所述网板玻璃和所述真空平台板的一侧。