[实用新型]一种平板显示用蚀刻液的循环再生处理系统有效
| 申请号： | 201820371248.2 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN208065893U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 高小云;刘兵 | 申请（专利权）人： | 苏州晶瑞化学股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/50 | 分类号： | B01D29/50;B01D29/13;C03C15/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种平板显示用蚀刻液的循环再生处理系统，其可以有效过滤排出蚀刻槽的液体中的杂质，使得蚀刻液可以循环再利用。其包括盛放排除废液的废酸槽，所述废酸槽的底部设置有一出口管路，所述出口管路外接有耐酸泵，所述出口管路的输出端通过三通和对应的第一支管分别外接至对应的第一袋式过滤器、第二袋式过滤器的入口，所述第一袋式过滤器、第二袋式过滤器的出口分别通过对应的第二支管接入二级总管的输入口，所述二级总管的输出口连接第三袋式过滤器的入口，所述第三袋式过滤器的出口通过输出总管接入混酸槽的入口，所述混酸槽的顶部设置有蚀刻液补充口，所述混酸槽的出口通过输出管外接至蚀刻槽。 | ||
| 搜索关键词： | 袋式过滤器 蚀刻液 出口管路 混酸槽 外接 处理系统 平板显示 循环再生 废酸槽 蚀刻槽 支管 总管 本实用新型 循环再利用 出口 顶部设置 输出总管 补充口 耐酸泵 输出端 输出管 输出口 输入口 废液 排出 盛放 过滤 三通 | ||
【主权项】：
1.一种平板显示用蚀刻液的循环再生处理系统，其特征在于：其包括盛放排除废液的废酸槽，所述废酸槽的底部设置有一出口管路，所述出口管路外接有耐酸泵，所述出口管路的输出端通过三通和对应的第一支管分别外接至对应的第一袋式过滤器、第二袋式过滤器的入口，所述第一袋式过滤器、第二袋式过滤器的出口分别通过对应的第二支管接入二级总管的输入口，所述二级总管的输出口连接第三袋式过滤器的入口，所述第三袋式过滤器的出口通过输出总管接入混酸槽的入口，所述混酸槽的顶部设置有蚀刻液补充口，所述混酸槽的出口通过输出管外接至蚀刻槽。
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