[实用新型]一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置有效
| 申请号： | 201820372368.4 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN207992682U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 吴琼;张琦;王历先;项宗齐;何少锋 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 宋倩;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，包括对准镜筒，依次设置在对准镜筒内的压圈、隔圈、透镜和LED光源，连接在对准镜筒上端的吸盘通光光阑底座，设置在吸盘通光光阑底座内的MEMS光阑，以及连接在对准镜筒下端的LED托板。本实用新型采用MEMS光阑，这种MEMS光阑不同于以往的机械光阑，是利用半导体曝光机及光刻工艺加工而成，光阑孔是图形而不是通孔，可防止灰尘落入打标装置中，且光阑孔具有700nm的超高精度，大大提升了打标装置的精度，从而提高了直写光刻设备的内层对准速度。 | ||
| 搜索关键词： | 光阑 打标装置 对准 镜筒 光刻设备 直写 吸盘 本实用新型 通光光阑 光阑孔 底座 透镜 光刻工艺 依次设置 曝光机 上端 隔圈 内层 通孔 托板 压圈 半导体 加工 | ||
【主权项】：
1.一种用于直写光刻设备中的MEMS光阑打标装置，其特征在于：包括对准镜筒，依次设置在对准镜筒内的压圈、隔圈、透镜和LED光源，连接在对准镜筒上端的吸盘通光光阑底座，设置在吸盘通光光阑底座内的MEMS光阑，以及连接在对准镜筒下端的LED托板。
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