[实用新型]一种直写光刻机中高利用率高均匀度的LED照明系统有效
| 申请号： | 201820372390.9 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN208399888U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 杨宇航;吴琼;何少锋;李永强;项宗齐 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 宋倩;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种直写光刻机中高利用率高均匀度的LED照明系统，包括LED光源，还包括准直镜组、匀光镜组、聚光透镜和转向棱镜，所述LED光源、准直镜组、匀光镜组和聚光透镜的中心均位于同一轴线上，所述转向棱镜位于DMD数字掩膜板的下方；所述LED光源的出射光发散角对应的数值孔径为NA0.85；所述匀光镜组为一对微透镜阵列对称组合而成；所述转向棱镜的入射面与所述轴线垂直，所述转向棱镜的出射面与所述DMD数字掩膜板平行。本实用新型具有光源利用率高、照明均匀性好、结构简单、装配容易、精度要求低、成本低、良品率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 转向棱镜 匀光镜 本实用新型 数字掩膜板 直写光刻机 高均匀度 高利用率 聚光透镜 准直镜组 出射光发散角 光源利用率 微透镜阵列 照明均匀性 精度要求 数值孔径 同一轴线 轴线垂直 出射面 良品率 入射面 装配 对称 平行 | ||
【主权项】：
1.一种直写光刻机中高利用率高均匀度的LED照明系统，包括LED光源，其特征在于：还包括准直镜组、匀光镜组、聚光透镜和转向棱镜，所述LED光源、准直镜组、匀光镜组和聚光透镜的中心均位于同一轴线上，所述转向棱镜位于DMD数字掩膜板的下方；所述LED光源的出射光发散角对应的数值孔径为NA0.85；所述匀光镜组为一对微透镜阵列对称组合而成；所述转向棱镜的入射面与所述轴线垂直，所述转向棱镜的出射面与所述DMD数字掩膜板平行。
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