[实用新型]一种升降式单晶硅炉有效

专利信息
申请号: 201820375585.9 申请日: 2018-03-20
公开(公告)号: CN208121238U 公开(公告)日: 2018-11-20
发明(设计)人: 罗乾;陈健;陈立民;韩永龙;文淑梅 申请(专利权)人: 阳光能源(青海)有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06
代理公司: 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 代理人: 李静
地址: 810000 青海*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 实用新型公布了一种升降式单晶硅炉,包括下炉体和上炉盖,所述上炉盖上设置有提拉组件,下炉体上设置有导流筒;所述的下炉体内有内腔,所述内腔内设置有坩埚,所述的坩埚为中部内凹结构,其内凹处设置有石墨加热器,所述石墨加热器底部设有支撑杆,所述支撑杆通过安装座固定于下炉体上,所述支撑杆外套设有十字套管,所述十字套管上设置有齿轮部件,坩埚通过连接杆连接于十字套管;所述安装座上设置有电机,所述电机与齿轮部件通过驱动齿条连接;安装座的底部设置有气缸。提供一种升降式单晶硅炉,解决现有单炉炼制导致能源浪费和工作效率低的问题,该硅炉具有生产效率高、成品率高、加工成本低的优点。
搜索关键词: 单晶硅炉 十字套管 安装座 升降式 下炉体 支撑杆 坩埚 石墨加热器 齿轮部件 上炉盖 内腔 电机 本实用新型 连接杆连接 工作效率 内凹结构 驱动齿条 生产效率 提拉组件 成品率 导流筒 炼制 凹处 单炉 炉具 气缸 下炉 体内 能源 加工
【主权项】:
1.一种升降式单晶硅炉,包括下炉体(1)和上炉盖(2),所述上炉盖(2)上设置有提拉组件(3),下炉体(1)上设置有导流筒(4);其特征在于,所述的下炉体(1)内有内腔(5),所述内腔(5)内设置有坩埚(6),所述的坩埚(6)为中部内凹结构,其内凹处设置有石墨加热器(7),所述石墨加热器(7)底部设有支撑杆(8),所述支撑杆(8)通过安装座(9)固定于下炉体(1)上,所述支撑杆(8)外套设有十字套管(10),所述十字套管(10)上设置有齿轮部件(11),坩埚(6)通过连接杆(12)连接于十字套管(10);所述安装座(9)上设置有电机(13),所述电机(13)与齿轮部件(11)通过驱动齿条(14)连接;安装座(9)的底部设置有气缸(15)。
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