[实用新型]一种升降式单晶硅炉有效
申请号: | 201820375585.9 | 申请日: | 2018-03-20 |
公开(公告)号: | CN208121238U | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
发明(设计)人: | 罗乾;陈健;陈立民;韩永龙;文淑梅 | 申请(专利权)人: | 阳光能源(青海)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李静 |
地址: | 810000 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型公布了一种升降式单晶硅炉,包括下炉体和上炉盖,所述上炉盖上设置有提拉组件,下炉体上设置有导流筒;所述的下炉体内有内腔,所述内腔内设置有坩埚,所述的坩埚为中部内凹结构,其内凹处设置有石墨加热器,所述石墨加热器底部设有支撑杆,所述支撑杆通过安装座固定于下炉体上,所述支撑杆外套设有十字套管,所述十字套管上设置有齿轮部件,坩埚通过连接杆连接于十字套管;所述安装座上设置有电机,所述电机与齿轮部件通过驱动齿条连接;安装座的底部设置有气缸。提供一种升降式单晶硅炉,解决现有单炉炼制导致能源浪费和工作效率低的问题,该硅炉具有生产效率高、成品率高、加工成本低的优点。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅炉 十字套管 安装座 升降式 下炉体 支撑杆 坩埚 石墨加热器 齿轮部件 上炉盖 内腔 电机 本实用新型 连接杆连接 工作效率 内凹结构 驱动齿条 生产效率 提拉组件 成品率 导流筒 炼制 凹处 单炉 炉具 气缸 下炉 体内 能源 加工 | ||
【主权项】:
1.一种升降式单晶硅炉,包括下炉体(1)和上炉盖(2),所述上炉盖(2)上设置有提拉组件(3),下炉体(1)上设置有导流筒(4);其特征在于,所述的下炉体(1)内有内腔(5),所述内腔(5)内设置有坩埚(6),所述的坩埚(6)为中部内凹结构,其内凹处设置有石墨加热器(7),所述石墨加热器(7)底部设有支撑杆(8),所述支撑杆(8)通过安装座(9)固定于下炉体(1)上,所述支撑杆(8)外套设有十字套管(10),所述十字套管(10)上设置有齿轮部件(11),坩埚(6)通过连接杆(12)连接于十字套管(10);所述安装座(9)上设置有电机(13),所述电机(13)与齿轮部件(11)通过驱动齿条(14)连接;安装座(9)的底部设置有气缸(15)。
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