[实用新型]一种山字形剖面重入式微波谐振腔有效
| 申请号： | 201820376472.0 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN207966918U | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 李晓静;聂凤明;王大森;裴宁;张广平;张旭;冯时 | 申请（专利权）人： | 内蒙金属材料研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/511 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 袁忠卫 |
| 地址： | 014030 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 一种山字形剖面重入式微波谐振腔，包括微波谐振腔的腔体，腔体呈纵截面为凸字型的大口径圆柱形金属腔体，腔体内增设有山字形剖面的内腔体，内腔体是由U型的第一内腔体和圆柱形的第二内腔体组合而成的金属腔体，第二内腔体的顶端设有高度可调节的用于放置沉积金刚石膜的基体材料的沉积基台，腔体的下端设有用于传输转换微波的同轴天线。本实用新型结构设计合理，与传统的微波谐振腔相比具有更大微波谐振空间，有着较强的微波聚焦能力，能够产生更高密度的等离子体，有利于提高薄膜沉积速率，具有微波谐振空间大，产生的等离子能量密度高，沉积基台高度可调，加工难度低的特点，对于MPCVD装置的改进及性能提高具有十分重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 内腔体 微波谐振腔 山字形 腔体 沉积 微波谐振 基台 微波 圆柱形金属腔体 等离子体 本实用新型 等离子能量 高度可调节 薄膜沉积 传输转换 高度可调 基体材料 金刚石膜 金属腔体 聚焦能力 同轴天线 传统的 大口径 凸字型 纵截面 下端 体内 增设 加工 改进 | ||
【主权项】：
1.一种山字形剖面重入式微波谐振腔，包括微波谐振腔的腔体，其特征在：所述腔体呈纵截面为凸字型的大口径圆柱形金属腔体，腔体内增设有山字形剖面的内腔体，内腔体是由U型的第一内腔体和圆柱形的第二内腔体组合而成的金属腔体，第二内腔体的顶端设有高度可调节的用于放置沉积金刚石膜的基体材料的沉积基台，腔体的下端设有用于传输转换微波的同轴天线。
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