[实用新型]基板处理装置有效
| 申请号： | 201820379215.2 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN208729489U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李根雨;朴成贤 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B41/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及基板处理装置，用于进行基板研磨工序，其包括：研磨单元：研磨基板表面；基板移送部：在基板的研磨开始时间点与研磨结束时间点之间移送基板。从而，可以简化基板处理工序，并缩短处理时间。 | ||
| 搜索关键词： | 基板处理装置 研磨 基板 基板研磨工序 研磨基板表面 本实用新型 基板移送部 结束时间点 开始时间点 处理工序 简化基板 研磨单元 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，用于进行基板研磨工序，其特征在于，包括：研磨单元，其研磨基板的表面；基板移送部，其在所述基板的研磨开始时间点与研磨结束时间点之间移送所述基板，所述基板移送部包括：移送带，其在外表面安放所述基板，沿着第一方向移送所述基板；基板支撑部，其配置于所述移送带的内部，隔着所述移送带支撑所述基板的底面。
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