[实用新型]一种新型蒸发镀膜治具有效
| 申请号： | 201820386905.0 | 申请日： | 2018-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN208038549U | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 钱军 | 申请（专利权）人： | 爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 刘宪池 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型蒸发镀膜治具，安装在镀膜机真空腔体内部上方，其包括轨道、连接件、回转装置和四个镀锅；轨道通过连接件悬挂安装在镀膜机真空腔体内上部；回转装置设置在轨道上，回转装置包括驱动机构、回转圆环、四个轮子和四个手臂，驱动机构位于回转圆环上方且驱动回转圆环水平旋转，四个手臂平均分布在回转圆环上，手臂上端通过螺栓与回转圆环连接固定，手臂下端设置有轮子；四个镀锅分别通过回转轴安装在四个轮子上，轮子回转时带动镀锅旋转；四个手臂中有一个手臂为可动自适应的调节手臂，其余三个手臂为固定手臂。通过上述方式，本实用新型能够在不增加真空镀膜设备腔体尺寸的条件下，大大增加单次产量、提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 手臂 回转圆环 回转装置 轮子 镀锅 本实用新型 镀膜机真空 驱动机构 蒸发镀膜 连接件 治具 轨道 真空镀膜设备 螺栓 固定手臂 连接固定 平均分布 腔体内部 生产效率 水平旋转 悬挂安装 回转轴 自适应 上端 回转 可动 腔体 下端 体内 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种新型蒸发镀膜治具，安装在镀膜机真空腔体内部上方，其特征在于，包括：轨道、连接件、回转装置和四个镀锅；所述轨道通过所述连接件悬挂安装在镀膜机真空腔体内上部；所述回转装置设置在所述轨道上，回转装置包括驱动机构、回转圆环、四个轮子和四个手臂，驱动机构位于回转圆环上方且驱动回转圆环水平旋转，四个手臂平均分布在回转圆环上，手臂上端与回转圆环连接，手臂下端设置有轮子；四个镀锅分别通过回转轴安装在四个轮子上，轮子回转时带动镀锅旋转；所述四个手臂中有一个手臂为可动自适应的调节手臂，其余三个手臂为固定手臂，调节手臂上端与所述回转圆环可调连接，固定手臂上端与回转圆环固定连接。
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