[实用新型]一种用于电子回转共振的离子源

摘要

本实用新型提供一种用于电子回转共振的离子源。本实用新型方法，包括：将微波源的能量馈入真空腔室内的波导管、将需要离子化的气体源材料导入真空腔室的气体源管路、将需要离子化的固体源材料导入真空腔室的固体源管路、锥形铁、偏压盘和冷却波导管、锥形铁和偏压盘的水冷机构；锥形铁位于安装法兰和偏压盘之间，且锥形铁的锥形端靠近偏压盘，偏压盘通过螺钉固接于锥形铁；波导管、气体源管路、固体源管路分别穿过安装法兰、锥形铁、偏压盘伸入真空腔室中，安装法兰上还设有真空同轴电压端子，通过导线给偏压盘施加电压。本实用新型可通过波导管导入不同频率的微波，产生高电荷态离子；设置气体源管路和固体源管路，实现对多种元素的离子化。

主权项

1.一种用于电子回转共振的离子源，其特征在于，包括：将微波源的能量馈入真空腔室内的波导管、将需要离子化的气体源材料导入真空腔室的气体源管路、将需要离子化的固体源材料导入真空腔室的固体源管路、锥形铁、偏压盘和冷却所述波导管、锥形铁和偏压盘的水冷机构；所述锥形铁位于安装法兰和所述偏压盘之间，且所述锥形铁的锥形端靠近所述偏压盘，扁平端靠近所述安装法兰，所述偏压盘通过螺钉固接于所述锥形铁；所述波导管一端连接微波源，另一端依次穿过安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中，所述波导管与安装法兰固接，所述波导管与所述锥形铁和所述偏压盘之间留有间隙；所述气体源管路依次穿过所述安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中，所述气体源管路与所述安装法兰和所述锥形铁固接，所述气体源管路与所述偏压盘之间留有间隙；所述固体源管路依次穿过所述安装法兰、所述锥形铁、所述偏压盘伸入真空腔室中，所述固体源管路与所述安装法兰和所述锥形铁固接，所述固体源管路与所述偏压盘之间留有间隙；所述安装法兰上还设有真空同轴电压端子，通过导线给偏压盘施加电压。