[实用新型]一种硅片镜片超声波清洗系统有效
| 申请号： | 201820400625.0 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN208230418U | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 高建勋 | 申请（专利权）人： | 昆明勋凯瑞光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;F26B23/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 650000 云南省昆*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光学镜片加工技术领域，目的在于提供一种硅片镜片超声波清洗系统。所采用的技术方案是：一种硅片镜片超声波清洗系统，包括设置在安装架上的外壳，所述外壳的内部由上至下依次设置烘干室、清洗室和废液室，所述烘干室、清洗室和废液室依次通过第一挡板、第二挡板分隔，所述第一挡板、第二挡板上分别开设有第一通孔和第二通孔，所述烘干室的内壁设置有加热管，所述清洗室的内壁设置有超声波换能器；所述外壳的底部设置有气缸，所述气缸包括活塞杆，所述活塞杆的端部安装有镜片固定架，所述活塞杆上配合第二通孔设置有橡胶环。本实用新型能够快速对镜片进行清洗及烘干，同时避免重复装夹镜片。 | ||
| 搜索关键词： | 镜片 超声波清洗系统 烘干室 活塞杆 清洗室 硅片 通孔 本实用新型 第二挡板 第一挡板 废液室 内壁 气缸 超声波换能器 加工技术领域 镜片固定架 光学镜片 依次设置 安装架 橡胶环 烘干 分隔 热管 装夹 清洗 重复 配合 | ||
【主权项】：
1.一种硅片镜片超声波清洗系统，包括设置在安装架（1）上的外壳（2），所述外壳（2）的顶部铰接有盖板（3），其特征在于：所述外壳（2）的内部由上至下依次设置烘干室（4）、清洗室（5）和废液室（6），所述烘干室（4）、清洗室（5）和废液室（6）依次通过第一挡板（7）、第二挡板（8）分隔，所述第一挡板（7）、第二挡板（8）上分别开设有第一通孔和第二通孔，所述烘干室（4）的内壁设置有加热管（9），所述清洗室（5）的内壁设置有超声波换能器（10），所述清洗室（5）的上部开设有进液口（11），所述废液室（6）的下部开设有出液口（12）；所述外壳（2）的底部设置有气缸（13），所述气缸（13）包括活塞杆（14），所述活塞杆（14）穿入外壳（2）并通过第二通孔延伸至清洗室（5）内，所述活塞杆（14）的端部安装有镜片固定架（15），所述镜片固定架（15）的直径小于第一通孔的孔径，所述活塞杆（14）上配合第二通孔设置有橡胶环（16）。
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