[实用新型]基于石墨烯的多物理量检测传感器及应变传感器有效
| 申请号： | 201820408566.1 | 申请日： | 2018-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN207907819U | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 孙云飞;胡伏原;班建民 | 申请（专利权）人： | 苏州科技大学 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了基于石墨烯的多物理量检测传感器及应变传感器，其主要包括绝缘基底，绝缘基底周向均布有多个石墨烯薄膜，各个石墨烯薄膜两端分别设置有电极，所述绝缘基底被一盖体封闭，盖体和绝缘基底之间形成密封腔，所述密封腔内填充有气体，所述气体为CO或NO，所述盖体包括顶部和侧部，所述盖体的顶部为具有一定弹性的材料制成，所述盖体的顶部设置有石墨烯应变传感器薄膜，所述石墨烯应变传感器薄膜的两端设置有电极，所述盖体的侧部设置有石墨烯温度传感器薄膜，所述石墨烯温度传感器薄膜的两端设置有电极。本实用新型采用立体架构来布置多种传感器，有效节约了空间。且灵敏度较高。适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 盖体 应变传感器 基底 绝缘 薄膜 电极 传感器 本实用新型 石墨烯薄膜 温度传感器 物理量检测 两端设置 密封腔 侧部设置 顶部设置 立体架构 周向均布 弹性的 灵敏度 填充 封闭 节约 | ||
【主权项】：
1.基于石墨烯的多物理量检测传感器，其特征在于：包括绝缘基底(1)，绝缘基底(1)周向均布有多个石墨烯薄膜(2)，各个石墨烯薄膜(2)两端分别设置有电极，所述绝缘基底(1)被一盖体(3)封闭，盖体(3)和绝缘基底(1)之间形成密封腔，所述密封腔内填充有气体，所述气体为CO或NO，所述盖体(3)包括顶部(5)和侧部(7)，所述盖体(3)的顶部(5)为具有一定弹性的材料制成，所述盖体(3)的顶部(5)设置有石墨烯应变传感器薄膜(4)，所述石墨烯应变传感器薄膜(4)的两端设置有电极，所述盖体(3)的侧部(7)设置有石墨烯温度传感器薄膜(6)，所述石墨烯温度传感器薄膜(6)的两端设置有电极。
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