[实用新型]防爆冲的蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201820410596.6 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN208293071U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 | 申请（专利权）人： | 江阴市光科真空机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 王威钦 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了防爆冲的蒸镀坩埚，包括坩埚底和管状的坩埚体，坩埚底与坩埚体一体成型、材质相同，坩埚底的各处厚度一致，坩埚体的厚度由底至顶逐渐减小，坩埚体的最大厚度小于等于坩埚底的厚度。本实用新型解决了蒸镀坩埚在加热初期及加热中后期的防爆冲问题，并且可以根据实际加热的蒸镀料及蒸镀坩埚的材质综合考虑后选择最适合的方案以兼顾加工的便利、防爆冲效果及成本的最低，且适用性广。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸镀 防爆冲 坩埚体 加热 本实用新型 厚度一致 一体成型 逐渐减小 综合考虑 便利 加工 | ||
【主权项】：
1.防爆冲的蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚底和管状的坩埚体，坩埚底与坩埚体一体成型、材质相同，坩埚底的各处厚度一致，坩埚体的厚度由底至顶逐渐减小，坩埚体的最大厚度小于等于坩埚底的厚度；所述坩埚底呈板状，坩埚体呈圆管状或方管状；坩埚底其顶面固定设置阻热部，阻热部的导热系数小于坩埚底的导热系数；阻热部为若干个阻热凸点或阻热块或阻热条；所述坩埚体的内壁固定设置导热部，或坩埚体内设置导热部，导热部的导热系数大于坩埚体的导热系数，导热部为若干个导热块或导热条；所述坩埚底中设置若干个底部阻热孔，底部阻热孔在坩埚底中均匀布置；或所述坩埚底中设置若干个阻热件，阻热件为若干个阻热块或阻热条，阻热件的导热系数小于坩埚底的导热系数；所述坩埚体中设置若干个体部阻热孔，体部阻热孔的大小小于底部阻热孔的大小。
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