[实用新型]一种单晶硅炉炉内单晶棒称重装置

摘要

本实用新型公布了一种单晶硅炉炉内单晶棒称重装置，包括炉盖、密封炉盖的下炉体、设置在炉盖上的配电箱以及设置在炉盖上的提拉机构，提拉机构上设置有提拉杆；提拉杆伸入炉盖内与称重机构的安装板螺纹连接，安装板上设置有导向柱和压力传感器，压力传感器与控制器连接，导向柱活动连接有压板，压板与压力传感器之间的导向柱上套设有压缩弹簧，压板的下端面上固设有连接板，连接板连接提拉头。提供一种单晶硅炉炉内单晶棒称重装置，解决现有炉盖冷却效率低、容易炸炉、在高温状态下称重系统易损坏难以拆卸更换的问题，该炉盖具有冷却效率高、结晶后的晶体成品率高、节约冷却水、防止炉盖气蚀和称重系统易拆卸的优点。

主权项

1.一种单晶硅炉炉内单晶棒称重装置，包括炉盖（1）、密封炉盖（1）的下炉体（2）、设置在炉盖（1）上的配电箱（3）以及设置在炉盖（1）上的提拉机构（4），所述提拉机构（4）上设置有提拉杆（401）；其特征在于，所述提拉杆（401）伸入炉盖（1）内与称重机构的安装板（402）螺纹连接，所述安装板（402）上设置有导向柱（403）和压力传感器（404），所述压力传感器（404）与控制器连接，所述导向柱（403）活动连接有压板（405），所述压板（405）与压力传感器（404）之间的导向柱（403）上套设有压缩弹簧（406），所述压板（405）的下端面上固设有连接板（407），所述连接板（407）连接提拉头（5）；所述的炉盖（1）由内壳（6）和外壳（7）构成；所述外壳（7）上设置有搅拌电机（9）和水管接头（10），所述搅拌电机（9）的旋转轴（11）伸入内壳（6）与外壳（7）形成一冷却容腔（8）内，其旋转轴（11）上安装有多个旋转叶轮（12）；所述的外壳（7）和内壳（6）上相对设置有多个隔板（13），所述外壳（7）上的隔板（13）、内壳（6）上的隔板（13）分别与旋转叶轮（12）形成冷却水的循环通道入口，位于容腔（8）的下端设置有循环出液口（14），所述的外壳（7）上端设置有气孔。