[实用新型]一种镀膜机观察装置有效
| 申请号： | 201820415268.5 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN208266262U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 孙力;杨小军;张韬 | 申请（专利权）人： | 成都西沃克真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙) 51251 | 代理人： | 成实 |
| 地址： | 610091 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀膜机观察装置，其特征在于，主要由中空主体(1)，设置在中空主体(1)前端上的影像采集组件，以及设置在中空主体(1)后端的观察组件组成。本实用新型设置在中空主体前端上的影像采集组件由防尘罩，主镜片和副镜片组成，其防尘罩能很好的防止靶材分子沉降到主镜片和副镜片上，而主镜片和副镜片形成一个折射镜，不仅很好防止了靶材分子吸附到目镜上，而且操作者通过副镜片便能清楚的观察到基片的镀膜情况，操作者的眼睛不需与镀膜机内的强光相对，从而确保了本实用新型能很好的解决现有的镀膜观察装置长时间使用后目镜上容易被大量的靶材分子吸附，和观察不便的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 中空主体 副镜片 本实用新型 观察装置 镀膜机 主镜片 靶材 防尘罩 分子吸附 影像采集 镀膜 目镜 强光 观察组件 沉降 折射镜 观察 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜机观察装置，其特征在于，主要由中空主体(1)，设置在中空主体(1)前端的影像采集组件，以及设置在中空主体(1)后端的观察组件组成；所述影像采集组件包括与中空主体(1)相连接的防尘罩(2)，倾斜设置在防尘罩(2)内壁上的主镜片(5)，以及倾斜设置在防尘罩(2)内壁上并与主镜片(5)相互平行的副镜片(6)；所述副镜片(6)位于主镜片(5)的下方。
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