[实用新型]旋转式光学镀膜腔体有效
申请号: | 201820417324.9 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN208136318U | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 | 申请(专利权)人: | 江阴市光科真空机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 王威钦 |
地址: | 214400 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了旋转式光学镀膜腔体,包括腔体本体,腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成,腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置,腔体侧板垂直于腔体顶板设置,腔体内设置蒸镀热源旋转机构和/或腔体本体旋转机构。本实用新型设置蒸镀热源旋转机构和/或腔体本体旋转机构,使得蒸镀蒸汽在基材上散布均匀,尤其适于球形件的蒸镀,设计巧妙,使得蒸镀热源匀速旋转,蒸镀蒸汽很均匀地散布到基材上,腔体本体旋转机构的巧妙设置,使得腔体本体下部稍一受力,腔体本体即进行圆锥摆运动,特别适合球形件的蒸镀。 | ||
搜索关键词: | 腔体本体 蒸镀 旋转机构 腔体顶板 热源 本实用新型 光学镀膜 腔体侧板 腔体底板 球形件 旋转式 基材 腔体 蒸汽 散布 平行设置 相对设置 匀速旋转 圆锥 受力 垂直 体内 | ||
【主权项】:
1.旋转式光学镀膜腔体,其特征在于,包括腔体本体,腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成,腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置,腔体侧板垂直于腔体顶板设置,腔体内设置蒸镀热源旋转机构和/或腔体本体旋转机构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴市光科真空机械有限公司,未经江阴市光科真空机械有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820417324.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类