[实用新型]旋转式光学镀膜腔体有效

专利信息
申请号: 201820417324.9 申请日: 2018-03-27
公开(公告)号: CN208136318U 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 瞿建强;瞿一涛;黄仕强;陆彬锋 申请(专利权)人: 江阴市光科真空机械有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 王威钦
地址: 214400 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了旋转式光学镀膜腔体,包括腔体本体,腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成,腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置,腔体侧板垂直于腔体顶板设置,腔体内设置蒸镀热源旋转机构和/或腔体本体旋转机构。本实用新型设置蒸镀热源旋转机构和/或腔体本体旋转机构,使得蒸镀蒸汽在基材上散布均匀,尤其适于球形件的蒸镀,设计巧妙,使得蒸镀热源匀速旋转,蒸镀蒸汽很均匀地散布到基材上,腔体本体旋转机构的巧妙设置,使得腔体本体下部稍一受力,腔体本体即进行圆锥摆运动,特别适合球形件的蒸镀。
搜索关键词: 腔体本体 蒸镀 旋转机构 腔体顶板 热源 本实用新型 光学镀膜 腔体侧板 腔体底板 球形件 旋转式 基材 腔体 蒸汽 散布 平行设置 相对设置 匀速旋转 圆锥 受力 垂直 体内
【主权项】:
1.旋转式光学镀膜腔体,其特征在于,包括腔体本体,腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成,腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置,腔体侧板垂直于腔体顶板设置,腔体内设置蒸镀热源旋转机构和/或腔体本体旋转机构。
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