[实用新型]一种具有靶材保护功能的镀膜设备有效
| 申请号： | 201820418270.8 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN208121187U | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 赵之光;贺新平 | 申请（专利权）人： | 惠州市宝明精工有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈卫;禹小明 |
| 地址： | 516083 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种具有靶材保护功能的镀膜设备，包括镀膜机及装载小车，所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头，所述端头与真空腔体壁之间设有绝缘块，端头上方竖直安装有靶材，所述靶材可旋转运动，所述靶材外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩，所述靶罩上开设有镀膜口，靶罩在镀膜口处安装有细铁丝网，所述细铁丝网在与靶材相背的一侧配设有装载小车，所述装载小车上设有用于固定基板的卡具。本实用新型提供了一种具有靶材保护功能的镀膜设备，该设备通过在靶罩的镀膜口上安装细铁丝网，将固定有基板的装载小车与旋转靶材相隔开，细铁丝网的设置不仅有效防止了破裂玻璃掉落时搁在靶材上对其造成损伤，而且对靶材溅射过程也具有一定散射作用，利于改善镀膜的均匀性，进而提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 细铁丝网 靶罩 保护功能 镀膜设备 装载 小车 镀膜口 本实用新型 真空腔体 镀膜机 端头 镀膜均匀性 固定基板 散射作用 竖直安装 旋转靶材 绝缘块 均匀性 可旋转 真空腔 掉落 镀膜 对靶 基板 溅射 相背 破裂 损伤 相隔 体内 玻璃 外部 | ||
【主权项】：
1.一种具有靶材保护功能的镀膜设备，其特征在于，包括镀膜机及装载小车（7），所述镀膜机内部设有真空腔体，所述真空腔体内设有端头（1），所述端头（1）与真空腔体壁（9）之间设有绝缘块（4），端头（1）上方竖直安装有靶材（2），所述靶材（2）可旋转运动，所述靶材（2）外部配设有用于提高镀膜均匀性的靶罩（3），所述靶罩（3）上开设有镀膜口（8），靶罩（3）在镀膜口（8）处安装有细铁丝网（6），所述细铁丝网（6）在与靶材（2）相背的一侧配设有装载小车（7），所述装载小车（7）上设有用于固定基板（5）的卡具。
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