[实用新型]一种具备温度传感的可调谐表面等离子波导有效

专利信息
申请号: 201820424233.8 申请日: 2018-03-28
公开(公告)号: CN208043283U 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 徐政杰;朱君;傅得立;秦柳丽 申请(专利权)人: 广西师范大学
主分类号: G01K11/32 分类号: G01K11/32;G01K11/00;G02B6/122
代理公司: 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 代理人: 刘梅芳
地址: 541004 广西壮*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 实用新型公开了一种具备温度传感的可调谐表面等离子波导,其特征是,包括自下而上顺序叠接的硅基底层、InGaAsP半导体缓冲层、占空比为10:1的金属光栅的金属层,所述金属光栅的金属层由长度与厚度相同、宽度比为2比1的金属Ag和石墨烯紧密连接构成,其中金属Ag位于金属层的左半部、石墨烯位于金属层的右半部,所述金属光栅的光栅空气间隙填充有感温介质乙醇。这种波导能够通过控制环境温度改变SPP纳米激光器的谐振波长和阈值,或通过检测SPP纳米波导器件的谐振波长的变化量,从而获得环境温度的变化量,这种波导既有出射波长可调谐的能力,又具有对环境温度变化高灵敏的检测能力。
搜索关键词: 金属层 金属光栅 表面等离子波导 温度传感 谐振波长 变化量 可调谐 石墨烯 波导 半导体缓冲层 环境温度变化 金属 本实用新型 波长可调谐 纳米激光器 光栅 硅基底层 介质乙醇 紧密连接 空气间隙 控制环境 纳米波导 宽度比 右半部 占空比 左半部 检测 出射 叠接 填充 灵敏
【主权项】:
1.一种具备温度传感的可调谐表面等离子波导,其特征是,包括自下而上顺序叠接的硅基底层、InGaAsP半导体缓冲层、占空比为10:1的金属光栅的金属层,所述金属光栅的金属层由长度与厚度相同、宽度比为2比1的金属Ag和石墨烯紧密连接构成,其中金属Ag位于金属层的左半部、石墨烯位于金属层的右半部,所述金属光栅的光栅空气间隙填充有感温介质乙醇。
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