[实用新型]一种用于集成电路检测的工业型原子力显微镜有效
| 申请号： | 201820428166.7 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN208043856U | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 韩雄;都有为;王矛宏;钱锋;王辰成 | 申请（专利权）人： | 苏州飞时曼精密仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于集成电路检测的工业型原子力显微镜，包括主机、气动减震台、控制器和上位机软件；主机设置于气动减震台的屏蔽罩内部，并与控制器相连接，控制器与上位机软件通信连接；主机包括底座、手柄、支架、横梁、第一位移台、扫描台、吸盘、第二位移台、升降台、激光检测头、成像装置和探针座；本案涉及的原子力显微镜用于集成电路在线检测，可对大规模集成电路晶片进行大范围和快速三维形貌扫描成像，也可单独进行表面纵向轮廓扫描，具有纳米级的分辨率，扫描速度快、范围大、分辨率高、适用的样品尺寸大，最大可达300mm。 | ||
| 搜索关键词： | 原子力显微镜 控制器 集成电路检测 气动减震台 上位机软件 位移台 分辨率 主机 大规模集成电路晶片 升降台 吸盘 三维形貌扫描 本实用新型 激光检测头 手柄 表面纵向 成像装置 轮廓扫描 通信连接 在线检测 主机设置 纳米级 屏蔽罩 扫描台 探针座 横梁 支架 底座 成像 集成电路 扫描 | ||
【主权项】：
1.一种用于集成电路检测的工业型原子力显微镜，其特征在于，包括主机、气动减震台、控制器和上位机软件；所述主机设置于气动减震台的屏蔽罩内部，该主机与控制器相连接；所述控制器与上位机软件通信连接；其中，所述主机包括底座、手柄、支架、横梁、第一位移台、扫描台、吸盘、第二位移台、升降台、激光检测头、成像装置和探针座；所述底座的左右侧面各设有一个手柄，底座台面后部的两端对称设有两个支架；所述横梁架设于两个支架之间；所述第一位移台设置于底座台面中央，用于前后位移；所述扫描台安装于第一位移台上面；所述吸盘安装于扫描台上面；所述第二位移台设置于横梁的前侧面，用于左右位移；所述升降台垂直设置于第二位移台上，能够沿第二位移台左右位移；所述升降台前侧面设有激光检测头；所述激光检测头上面设有成像装置，下面设有探针座。
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