[实用新型]一种用于真空环境型原子力显微镜的光机结构装置

摘要

本实用新型公开了一种用于真空环境型原子力显微镜的光机结构装置，具有真空腔体模块、上光学成像及激光检测模块、下光学成像模块；真空腔体模块包括真空腔、压电位移台、压电扫描器、载物片、样品台、探针和探针座；上光学成像及激光检测模块包括物镜、手动位移台、半透半反镜、激光器、可调反光镜、四象限探测器、光源和图像传感器；下光学成像模块包括物镜、手动位移台、光源、半透半反镜和图像传感器；本案首次在原子力显微镜的光机结构中设计了上下两套辅助光学成像装置，能同时用于材料样品或生物样品的精确扫描定位，而且首次使原子力显微镜光路与辅助光学成像系统光路集成一体，使得整个系统光路简化、结构紧凑。

主权项

1.一种用于真空环境型原子力显微镜的光机结构装置，其特征在于，具有真空腔体模块、上光学成像及激光检测模块、下光学成像模块；所述真空腔体模块包括真空腔、压电位移台、压电扫描器、载物片、样品台、探针和探针座；所述真空腔的下底面和上底面分别设有下凹槽和上凹槽；所述压电位移台设置于下凹槽向真空腔内部凸起的右侧，该压电位移台上面固定有压电扫描器；所述压电扫描器上面固定有载物片；所述载物片上与上凹槽和下凹槽的槽底对应处设置有样品台，用于安置样品；所述探针设置在样品台正上方，安装于探针座上；所述上光学成像及激光检测模块包括第一物镜、第一手动位移台、第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜、激光器、第二手动位移台、可调反光镜、四象限探测器、第三手动位移台、第一光源和第一图像传感器；所述第一物镜的镜头朝向上凹槽的槽底，镜尾固定于第一手动位移台；所述第一手动位移台上方由下而上依次设置有第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜和第一图像传感器；所述第一半透半反镜左侧设有可调反光镜；所述可调反光镜上方设有四象限探测器；所述四象限探测器固定于第二手动位移台；所述第二半透半反镜右侧设有激光器；所述激光器固定于第三手动位移台；所述第三半透半反镜右侧设有第一光源；所述下光学成像模块包括第二物镜、第四手动位移台、第二光源、第四半透半反镜和第二图像传感器；所述第二物镜的镜头朝向下凹槽的槽底，镜尾固定于第四手动位移台；所述第四手动位移台下方由上而下依次设置有第四半透半反镜和第二图像传感器；第四半透半反镜右侧设有第二光源。