[实用新型]智能氮氧传感器感应芯片有效
| 申请号： | 201820435772.1 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN207866754U | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 冯江涛 | 申请（专利权）人： | 常州联德电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/41 | 分类号： | G01N27/41;G01N27/407;G01N27/409 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 沈毅 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及传感器感应芯片领域，尤其是智能氮氧传感器感应芯片。该感应芯片包括外电极、电极触点一、上层氧化锆基板、副泵内电极、主泵内电极、中层氧化锆基板、参比空气电极、测量泵内电极、电极触点二、底层氧化锆基板、绝缘包裹层、电极触点三、参比空气通道、第一测量腔、第二测量腔和加热线路，所述外电极、引线、电极触点一印刷在上层氧化锆基板的上端面；所述副泵内电极、主泵内电极、引线印刷在上层氧化锆基板的下端面；所述测量泵内电极和参比空气电极印刷在底层氧化锆基板的上端面；所述底层氧化锆基板上印刷有加热线路、电极触点三、两层绝缘包裹层。该实用新型使用三层氧化锆基板，其制备工序简单、生产效率高、稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锆基板 内电极 电极触点 传感器感应 参比 印刷 加热线路 空气电极 上端面 外电极 上层 氮氧 副泵 主泵 测量 芯片 本实用新型 绝缘包裹层 第二测量 第一测量 感应芯片 空气通道 两层绝缘 生产效率 芯片领域 智能 包裹层 下端面 三层 制备 中层 | ||
【主权项】：
1.一种智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，包括外电极（1）、电极触点一（2）、上层氧化锆基板（3）、副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、中层氧化锆基板（6）、参比空气电极（7）、测量泵内电极（8）、电极触点二（9）、底层氧化锆基板（10）、绝缘包裹层（11）、电极触点三（12）、参比空气通道（13）、第一测量腔（15）、第二测量腔（17）和加热线路（18），所述外电极（1）、引线、电极触点一（2）印刷在上层氧化锆基板（3）的上端面；所述副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、引线印刷在上层氧化锆基板（3）的下端面；所述副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、引线通过过孔与电极触点一（2）连接；所述测量泵内电极（8）和参比空气电极（7）印刷在底层氧化锆基板（10）的上端面；所述测量泵内电极（8）和参比空气电极（7）通过引线延伸至端头与两侧的电极触点二（9）连接；所述底层氧化锆基板（10）上印刷有加热线路（18）、电极触点三（12）、两层绝缘包裹层（11）；所述加热线路（18）包裹在两层绝缘包裹层（11）之间；所述电极触点三（12）裸露在外；所述中层氧化锆基板（6）通过冲切加工成第一测量腔（15）、第二测量腔（17）和参比空气通道（13）。
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