[实用新型]用于浸没式光刻机的浸没头检测装置

摘要

本实用新型公开了一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置，包括分析单元、图像采集单元、支撑单元，支撑单元包括底座、若干支脚、立柱和三个移动滑轨，支脚安装在底座下部，立柱安装在底座上，横向移动滑轨安装在立柱顶部且在水平面内移动，纵向移动滑轨安装在横向移动滑轨上且纵向移动滑轨与横向移动滑轨在水平面内的移动方向相垂直，垂直移动滑轨一端安装在纵向移动滑轨上且垂直移动滑轨与纵向移动滑轨和横向移动滑轨的移动方向都相垂直，图像采集单元固定在垂直移动滑轨上。本实用新型采用可调式的支撑单元安装镜头，这样可以调整镜头位置，同时便于检测装置的安放，避免因人为因素损坏光刻机的浸没头，从而保证机台的正常运行，提高工艺效率。

主权项

1.一种用于浸没式光刻机的浸没头检测装置，包括分析单元、图像采集单元、支撑单元，所述图像采集单元安装在所述支撑单元上，且通过传输线与所述分析单元相连接，其特征在于，所述支撑单元包括底座、若干支脚、立柱和横向移动滑轨、纵向移动滑轨和垂直移动滑轨，所述支脚安装在底座下部，所述立柱安装在底座上，所述横向移动滑轨安装在立柱的顶部且在水平面内移动，所述纵向移动滑轨安装在横向移动滑轨上，且纵向移动滑轨在水平面内的移动方向与横向移动滑轨的移动方向相垂直，所述垂直移动滑轨的一端安装在纵向移动滑轨上，且垂直移动滑轨的移动方向与纵向移动滑轨和横向移动滑轨的移动方向都相垂直，所述图像采集单元固定安装在垂直移动滑轨上。