[实用新型]膜厚均匀化的镀膜装置有效
| 申请号： | 201820438583.X | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN208136320U | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 陈君;乐务时 | 申请（专利权）人： | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 215126 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜厚均匀化的镀膜装置，包括腔体，所述腔体内设有固定架，所述固定架用于固定工件，所述腔体的侧壁还设有蒸发源，所述蒸发源和固定架之间还设有均化板，所述均化板通过转轴与所述腔体成转动连接，所述均化板沿转轴与蒸发源的表面所在平面成大于0°，小于90°的夹角范围内转动，从而部分遮住所述蒸发源或完全不遮挡。本实用新型的有益效果在于：通过在蒸发源和固定架之间安装匀化板，均化板沿转轴与蒸发源的表面所在平面成大于0°，小于90°的夹角的范围内转动，部分遮住蒸发源，通过调整均化板与蒸发源平面的合适的夹角，可以实现工件在垂直方向的涂层厚度一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 均化板 固定架 腔体 转轴 本实用新型 镀膜装置 膜厚均匀 所在平面 遮住 转动 厚度一致性 固定工件 转动连接 平面的 侧壁 匀化 遮挡 体内 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚均匀化的镀膜装置，包括腔体，其特征在于，所述腔体内设有固定架，所述固定架用于固定工件，所述腔体的侧壁还设有蒸发源，所述蒸发源和固定架之间还设有均化板，所述均化板通过转轴与所述腔体成转动连接，所述均化板沿转轴与蒸发源的表面所在平面成大于0°，小于90°的夹角范围内转动，从而部分遮住所述蒸发源。
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