[实用新型]掩膜板有效
| 申请号： | 201820440125.X | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN208346243U | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;王徐亮;甘帅燕;高峰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种掩膜板，该掩模板包括外框和设置于外框上的掩膜网面，以及进一步包括固定掩膜网面至外框的固定条和承载掩膜网面的支撑条。本实用新型实施例提供的掩模板通过在掩模板的掩模网面和外框之间设置固定条和支撑条的方式，有效缓解了掩模板的掩模网面下垂量过大的情况，进而有效提高了掩模板的掩膜精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模板 外框 网面 掩膜 固定条 支撑条 掩模 本实用新型 固定掩膜 有效缓解 下垂量 掩膜板 承载 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，包括外框和设置于所述外框上的掩膜网面，其特征在于，进一步包括固定所述掩膜网面至所述外框的固定条和承载所述掩膜网面的支撑条。
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