[实用新型]一种光学元件面散射缺陷探测装置有效
| 申请号： | 201820440975.X | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN208156291U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王凤蕊;周晓燕;林宏奂;刘红婕;邓青华;石兆华;卓瑾;吴之清;邵婷;蒋晓东;黄进;叶鑫;李青芝;孙来喜;夏汉定 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G02B21/36;G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人： | 刘云青 |
| 地址： | 621054 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光学元件面散射缺陷探测装置，包括载物台、照明系统及成像系统，其中，载物台用于承载和移动待测光学元件，以使待测光学元件的被测位置位于成像系统的视场中心，照明系统包括固定架和多个发光单元，固定架在载物台所在平面的投影的中心落在载物台，多个发光单元固定于固定架，以使多个发光单元发出的光会聚于被测位置，成像系统用于拍摄被测位置。本申请提供的光学材料面散射缺陷探测装置可实现对光学元件表面散射缺陷进行多角度照明，可在提高表面散射缺陷成像质量的同时大大降低缺陷的漏检概率。 | ||
| 搜索关键词： | 散射 光学元件 载物台 缺陷探测装置 被测位置 成像系统 发光单元 固定架 照明系统 光学元件表面 多角度照明 光学材料 漏检概率 缺陷成像 视场中心 所在平面 光会聚 申请 投影 承载 拍摄 移动 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件面散射缺陷探测装置，其特征在于，包括载物台、照明系统及成像系统，其中，所述载物台用于承载和移动待测光学元件，以使所述待测光学元件的被测位置位于所述成像系统的视场中心，所述照明系统包括固定架和多个发光单元，所述固定架在所述载物台所在平面的投影的中心落在所述载物台，所述多个发光单元固定于所述固定架，以使所述多个发光单元发出的光重合于所述被测位置，所述成像系统用于拍摄所述被测位置。
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