[实用新型]一种光学元件体散射缺陷探测装置有效
| 申请号： | 201820441013.6 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN208156292U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 王凤蕊;周晓燕;林宏奂;刘红婕;邓青华;石兆华;卓瑾;吴之清;邵婷;蒋晓东;黄进;叶鑫;李青芝;孙来喜;夏汉定 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G02B21/36;G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人： | 刘云青 |
| 地址： | 621054 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光学元件体散射缺陷探测装置，光学元件为长方体结构，包括多个光束照射面；光学元件体散射缺陷探测装置包括光源、三维平移台、分光单元、照明系统及成像系统，光源用于发出光束L0；三维平移台用于承载和平移光学元件；分光单元用于将光束L0分为两束光束；照明系统用于将两束光束分为多束光束后垂直入射多个光束照射面，以形成多光束交叠照明区域；成像系统用于对多光束交叠照明区域进行成像。本申请提供的光学材料体散射缺陷探测装置可实现对体缺陷多角度照明，从而获得材料体内大部分缺陷的清晰成像，对于判断材料质量具有重要参考价值。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷探测装置 散射 光学元件体 三维平移台 成像系统 分光单元 光束照射 光学元件 照明区域 照明系统 多光束 交叠 光源 长方体结构 多角度照明 垂直入射 光学材料 清晰成像 体缺陷 成像 申请 承载 体内 参考 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件体散射缺陷探测装置，其特征在于，所述光学元件为长方体结构，包括多个光束照射面；所述光学元件体散射缺陷探测装置包括：三维平移台，用于承载和平移所述光学元件；光源，用于发出光束L0；分光单元，用于将所述光束L0分为两束光束；照明系统，用于将所述两束光束分为多束光束后垂直入射所述多个光束照射面，以形成多光束交叠照明区域；以及成像系统，用于对所述多光束交叠照明区域进行成像。
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