[实用新型]一种直射式激光三角位移传感器有效
申请号: | 201820457279.X | 申请日: | 2018-04-03 |
公开(公告)号: | CN208059800U | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 丁海鹏;王国安;孙久春;吴伟锋;周飞 | 申请(专利权)人: | 海伯森技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人: | 李中华 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种直射式激光三角位移传感器,包括半导体激光器、发射透镜组、接收透镜组和光电探测器,半导体激光器和发射透镜组共轴依次排列在被测物体的前端,形成发射端;接收透镜组和光电探测器与接收端共面并形成接收端;半导体激光器的激光经过发射透镜组的准直聚焦,照射在被测物体上的三个位置A0、B0和C0,被测物体与发射端的光轴垂直;被测物体在位置A0、B0和C0上的反射光线经过倾斜和偏心设置的接收透镜组后在光电探测器上形成相对应的光斑位置A1、B1和C1。本专利的直射式激光三角位移传感器,实现了高精度的微小位移测量,其光斑很小,直径约为30μm,性能稳定且成本低,实现了对物体表面微小细节的测量。 | ||
搜索关键词: | 被测物体 激光三角位移传感器 半导体激光器 光电探测器 接收透镜组 发射透镜 直射式 接收端 微小位移测量 本实用新型 光斑 反射光线 光斑位置 光轴垂直 偏心设置 物体表面 依次排列 发射端 共轴 准直 照射 激光 测量 聚焦 发射 | ||
【主权项】:
1.一种直射式激光三角位移传感器,包括半导体激光器(1)、发射透镜组(2)、接收透镜组(6)和光电探测器(7),所述半导体激光器(1)和发射透镜组(2)共轴依次排列在被测物体的前端,形成发射端;所述接收透镜组(6)和光电探测器(7)与接收端共面并形成接收端;其特征在于,所述半导体激光器(1)的激光经过发射透镜组(2)的准直聚焦,照射在被测物体上的三个位置A0、B0和C0(3,4,5),被测物体与发射端的光轴垂直,即单点直射式;被测物体在位置A0、B0和C0(3,4,5)上的反射光线经过倾斜和偏心设置的接收透镜组(6)后在光电探测器(7)上形成相对应的光斑位置A1、B1和C1(8,9,10)。
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