[实用新型]一种共晶机

摘要

本实用新型公开了一种共晶机，包括机台和整机控制系统，机台上设有上下料系统、共晶台、双晶圆台、芯片拾取控制系统和芯片校准系统,上下料系统包括管座托盘、吸嘴、气缸、滑轨、线性精密XY滑台和控制线性精密XY滑台的电机；共晶台包括将管座从上下料系统输送至共晶台的输送装置、手指吸嘴、共晶座、管座夹爪、夹爪气缸和加热棒，双晶圆台包括热沉托盘固定环、芯片托盘固定环、顶针系统组件和线性精密XY模组，所述顶针系统组件包括顶针、顶针帽和顶针调节系统；芯片拾取控制系统包括热沉吸嘴、芯片吸嘴、运动组件和摄像头。本实用新型配合多轴运动控制、视觉定位等技术，自动化程度高，产品良率高，且具有快速批量生产能力。

主权项

1.一种共晶机，包括机台和整机控制系统，其特征在于：所述机台上设有上下料系统（1）、共晶台（2）、双晶圆台（3）、芯片拾取控制系统（4）和芯片校准系统（5）,所述上下料系统（1）包括管座托盘（6）、吸嘴（7）、气缸（8）、滑轨（9）、线性精密XY滑台（10）和控制线性精密XY滑台（10）的电机，所述吸嘴（7）通过气缸（8）和滑轨（9）实现上下运动，所述吸嘴（7）上方设有光电感应件（11）和光电开关（12）；所述共晶台（2）包括将管座从上下料系统输送至共晶台的输送装置、手指吸嘴（13）、共晶座（14）、管座夹爪（15）、夹爪气缸（16）和加热棒（17），所述加热棒（17）处设有热敏传感器（21）；所述双晶圆台包括热沉托盘固定环（27）、芯片托盘固定环（28）、顶针系统组件（29）和线性精密XY模组（30），所述顶针系统组件（29）包括顶针（31）、顶针帽（32）和顶针调节系统，所述顶针帽（32）下设有抽真空管（33）；所述芯片拾取控制系统包括热沉吸嘴（36）、芯片吸嘴（37）、运动组件（38）和摄像头（39）；所述芯片校准系统包括芯片校准台（40）、下摄像头（41）和芯片校准控制系统，所述芯片校准台（40）上设有可吸住芯片的小孔，所述小孔与真空吸管（42）连通。