[实用新型]一种区熔硅生产用的用于夹持硅芯的石墨电极夹头有效
| 申请号： | 201820468090.0 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN208071844U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 高召帅;于跃;姜浩;张天雨;李福中;李钊 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/08 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种区熔硅生产用的用于夹持硅芯的石墨电极夹头，包括夹头本体，夹头本体从上到下依次分为夹头上部、夹头中部和夹头下部；所述夹头上部为圆锥体，圆锥体侧面的母线与夹头本体的垂直中心线的夹角为20～40°。夹头本体的外表面设有碳化硅涂层，碳化硅涂层的厚度为50～100μm。本实用新型的石墨电极夹头可以将正常停炉阶段硅棒根部裂棒比例由原来的40％以上降低为5～7％；硅料中碳含量由原来的100ppbw以上降低为70～80ppbw，可以满足客户的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 夹头 夹头本体 石墨电极 本实用新型 碳化硅涂层 圆锥体 硅芯 夹持 熔硅 垂直中心线 从上到下 夹角为 硅棒 硅料 母线 停炉 侧面 生产 客户 | ||
【主权项】：
1.一种区熔硅生产用的用于夹持硅芯的石墨电极夹头，其特征在于，包括夹头本体，夹头本体从上到下依次分为夹头上部(1)、夹头中部(2)和夹头下部(3)；所述夹头上部(1)为圆锥体，圆锥体侧面的母线与夹头本体的垂直中心线的夹角为20～40°。
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