[实用新型]一种硅片切割液冷却装置有效
| 申请号： | 201820468968.0 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN208263221U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 吴昌皂 | 申请（专利权）人： | 江苏鹏程化工有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 王彦明 |
| 地址： | 222000 江苏省连云*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅片切割液冷却装置，该装置包括喷液机构和冷却机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述收液机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗内设置有切割液过滤筒，收集斗的下斗口连通有若干螺旋出液管，螺旋出液管外套装有冷却箱，冷却箱的下部设有进风口，进风口处设有冷风机，冷却箱的上部设有出风口。该装置简单实用、冷却效率高，能够将使用后的硅片切割液进行集中冷却处理、冷却效果好，有效的保证了硅片切割的正常进行。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片切割机 硅片切割液 冷却箱 切割液 收集斗 支撑柱 冷却装置 喷液机构 出液管 喷头 旋转升降机构 硅片切割 滑动设置 集中冷却 进风口处 冷却机构 冷却效果 冷却效率 出风口 过滤筒 进风口 冷风机 硅片 侧壁 斗口 收液 连通 喷洒 保证 | ||
【主权项】：
1.一种硅片切割液冷却装置，其特征在于：该装置包括喷液机构和冷却机构，喷液机构包括设置在硅片切割机上的支撑柱，支撑柱通过旋转升降机构安装在硅片切割机上，支撑柱四周的侧壁上滑动设置有若干用于对硅片进行喷洒切割液的切割液喷头；所述冷却机构包括设置在硅片切割机下部的收集斗，收集斗内设置有切割液过滤筒，收集斗的下斗口连通有若干螺旋出液管，螺旋出液管外套装有冷却箱，冷却箱的下部设有进风口，进风口处设有冷风机，冷却箱的上部设有出风口；该装置还包括切割液收集槽，螺旋出液管均与切割液收集槽连通，切割液收集槽外包裹有通有冷却水的冷却腔，切割液喷头通过导液管与切割液收集槽的下部连通。
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