[实用新型]一种集成式单晶石英坩埚切边倒棱装置

摘要

本实用新型公开了一种集成式单晶石英坩埚切边倒棱装置，包括机架以及位于机架内部集定位与旋转坩埚于一体的定位机构，集成式切边倒棱机构和对集成式切边倒棱机构冷却降温的冷却系统，集成式切边倒棱机构设置于待加工坩埚的开口一侧，包括切边&内倒边机构，外倒边机构，外沿夹持机构和十字滑台模组，外沿夹持机构，切边&内倒边机构和外倒边机构设置于十字滑台模组的运动滑台上由十字滑台模组驱动，本实用新型集切割和倒边功能于一体，从坩埚内壁进行切割，切割完成后依次进行倒内边和倒外边动作，该装置结构紧凑，节省空间，全程自动化管理，操控简单，加工精度高，能耗低，生产效率高，安全性能好。

主权项

1.一种集成式单晶石英坩埚切边倒棱装置，其特征在于，包括机架以及位于机架内部集定位与旋转坩埚于一体的定位机构，集成式切边倒棱机构和对集成式切边倒棱机构冷却降温的冷却系统，所述集成式切边倒棱机构设置于待加工坩埚的开口一侧，包括切边&内倒边机构，外倒边机构，外沿夹持机构和十字滑台模组，所述外沿夹持机构，切边&内倒边机构和外倒边机构设置于十字滑台模组的运动滑台上由十字滑台模组驱动。