[实用新型]一种真空镀膜的雾化装置有效

专利信息
申请号: 201820495683.6 申请日: 2018-04-09
公开(公告)号: CN208087732U 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 苏文校 申请(专利权)人: 东莞市优上纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 代理人: 殷齐齐
地址: 523000 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型属于镀膜设备技术领域,特别涉及一种真空镀膜的雾化装置,包括机架、升华炉、分解炉和控制柜,升华炉、分解炉和控制柜均设置于机架,控制柜分别与升华炉和分解炉电性连接,升华炉的外壁设置有多个加热片,所述加热片均匀等距分布在所述升华炉的外壁。通过加热片的设置,提高了升华炉的加热的均匀性;而且在控制柜的控制范围内实现了有效地加热,使得本实用新型的雾化效果好,有利于产品镀膜的进行。
搜索关键词: 升华炉 控制柜 分解炉 加热片 本实用新型 雾化装置 真空镀膜 加热 等距分布 电性连接 镀膜设备 外壁设置 雾化效果 均匀性 有效地 镀膜 外壁
【主权项】:
1.一种真空镀膜的雾化装置,其特征在于:包括机架、升华炉、分解炉和控制柜,所述升华炉、所述分解炉和所述控制柜均设置于所述机架上,所述控制柜分别与所述升华炉和所述分解炉电性连接,所述升华炉的外壁设置有多个加热片,所述加热片均匀等距分布在所述升华炉的外壁。
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