[实用新型]一种晶圆定位和固定装置有效
| 申请号： | 201820510642.X | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN208093535U | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 潘学勤 | 申请（专利权）人： | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上海）自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种晶圆定位和固定装置，它由固定杆A、固定杆B、固定销A、固定销F、滚轮A、滚轮B、固定销B、固定销E、拉簧A和拉簧B组成。所述固定杆A装配于上盖的一侧卡销上并与固定杆A中间的孔配合装配，滚轮A装配于固定杆A的一端卡槽内，用固定销A把滚轮A固定在固定杆A的卡槽内，拉簧A一端装配在固定杆A上面的固定销B，把拉簧A的另一端固定在上盖的侧边，固定杆B装配于上盖的另一侧卡销上并与固定杆B中间的孔配合装配，滚轮B装配于固定杆B的一端卡槽内，用固定销F把滚轮B固定在固定杆B的卡槽内，拉簧B装配于固定杆B上面的固定销E；把拉簧B的另一端固定在上盖的另一侧边。 | ||
| 搜索关键词： | 固定杆 固定销 装配 滚轮 拉簧 上盖 固定装置 卡槽 卡销 种晶 侧边 配合 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆定位和固定装置，其特征在于由固定杆A、固定杆B、固定销A、固定销F、滚轮A、滚轮B、固定销B、固定销E、拉簧A和拉簧B组成；所述固定杆A装配于上盖的一侧卡销上并与固定杆A中间的孔配合装配，滚轮A装配于固定杆A的一端卡槽内，用固定销A把滚轮A固定在固定杆A的卡槽内，拉簧A一端装配在固定杆A上面的固定销B，把拉簧A的另一端固定在上盖的侧边，固定杆B装配于上盖的另一侧卡销上并与固定杆B中间的孔配合装配，滚轮B装配于固定杆B的一端卡槽内，用固定销F把滚轮B固定在固定杆B的卡槽内，拉簧B装配于固定杆B上面的固定销E；把拉簧B的另一端固定在上盖的另一侧边。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
