[实用新型]一种单晶炉中的坩埚保温结构有效
申请号: | 201820513358.8 | 申请日: | 2018-04-12 |
公开(公告)号: | CN208293117U | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 徐永亮;冯微;于海群;汪海波 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 321000 浙江省金华市金*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请涉及蓝宝石单晶生长技术领域,尤其涉及一种单晶炉中的坩埚保温结构。所述保温结构包括保温屏和坩埚盖板,所述保温屏设置于所述坩埚盖板的上表面;所述保温屏的中心设有一圆台状通孔,所述圆台状通孔的上底面直径小于所述圆台状通孔的下底面直径;所述坩埚盖板的中心设有一圆柱状通孔,所述圆柱状通孔与所述圆台状通孔同轴;所述圆柱状通孔的直径与所述圆台状通孔的下底面直径相同。该保温结构下部开口大,能够避免在退火的过程中造成晶体断裂。 | ||
搜索关键词: | 圆台状通孔 保温结构 圆柱状通孔 坩埚盖板 保温屏 单晶炉 下底面 坩埚 退火 蓝宝石单晶 下部开口 上表面 上底面 同轴 断裂 生长 申请 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉中的坩埚保温结构,其特征在于,包括保温屏(2)和坩埚盖板(1),所述保温屏(2)设置于所述坩埚盖板(1)的上表面;所述保温屏(2)的中心设有一圆台状通孔,所述圆台状通孔的上底面直径小于所述圆台状通孔的下底面直径;所述坩埚盖板(1)的中心设有一圆柱状通孔,所述圆柱状通孔与所述圆台状通孔同轴;所述圆柱状通孔的直径与所述圆台状通孔的下底面直径相同。
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