[实用新型]一种射流激光复合清洗系统有效
| 申请号： | 201820517464.3 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN208390517U | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 刘清原;龙芋宏;周嘉;鲍家定;黄宇星;赵要武;焦辉 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B7/00 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 欧阳波 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种射流激光复合清洗系统，本清洗系统包括空化射流装置、激光清洗装置；激光束和空化射流的中心线共面异轴，空化射流于工件表面产生水膜，激光束聚焦于水膜内与工件表面保持距离，空化射流冲击工件基材表面，产生水膜、水膜空化泡破溃冲击清洗基材表面，同时激光聚焦于水膜内，水膜在超热状态爆发沸腾、剧烈汽化，产生蒸汽泡冲击基材表面，延长空化射流的有效作用时间。激光束和空化射流协同作用于工作台上的工件表面进行清洗，效果明显优于现有清洗技术，可清除工件表面直径大于50nm的固体颗粒，满足晶圆基材表面加工要求。 | ||
| 搜索关键词： | 空化 射流 水膜 工件表面 复合清洗 基材表面 激光束 清洗 激光 激光清洗装置 晶圆基材表面 空化射流装置 汽化 本实用新型 激光束聚焦 工件基材 激光聚焦 清洗技术 清洗系统 射流冲击 有效作用 热状态 蒸汽泡 异轴 沸腾 加工 | ||
【主权项】：
1.一种射流激光复合清洗系统，包括水箱(8)、射流加压腔(7)、空化射流喷嘴(6)、激光器(4)和工作台(1)；工作台(1)台面为水平面，工件(2)固定于工作台(1)台面；其特征在于：水箱(8)的出水管连接射流加压腔(7)，射流加压腔(7)的出口接有空化射流喷嘴(6)；激光器(4)产生的激光束(3)的聚焦点处于工件(2)上方的水膜(9)中。
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