[实用新型]一种用于电沉积的阳极组件

摘要

本实用新型公开了一种用于电沉积的阳极组件，包括阳极；还包括封闭环形管、调节阀和氮气源。封闭环形管固定于阳极四周；封闭环形管与氮气源连通连接；调节阀设置于封闭环形管与氮气源之间；封闭环形管设有进气孔和阵列出气孔。在电铸过程中，封闭环形管和阳极浸于电解液之中，调节阀和氮气源置于电解液之外。当需要向电解液中阳极区域充入氮气时，接通氮气源，并调节调节阀，使氮气通过进气孔充入到封闭环形管中，并从阵列出气孔被排出，由此排除或隔离电解液中阳极区域产生的氧气或氯气等副反应产物，加快传质，减弱阳极极化程度，从而抑制阳极区域亚铁离子的氧化；反之，关闭氮气源即可。本实用新型为非添加剂方式，一举多得。

主权项

1.一种用于电沉积的阳极组件，它包括阳极（3），其特征在于：还包括封闭环形管（1）、调节阀（5）和氮气源（6）；所述的封闭环形管（1）固定于阳极（3）的四周；所述的封闭环形管（1）与氮气源（6）连通连接；所述的调节阀（5）设置于封闭环形管（1）与氮气源（6）之间；所述的封闭环形管（1）设有进气孔（4）和阵列出气孔（2）；所述的阵列出气孔（2）的开口朝向向内；所述的阵列出气孔（2）的轴线与阳极（3）的表面平行。