[实用新型]一种用于制备磷化铟单晶的高压炉

摘要

本实用新型公开了一种用于制备磷化铟单晶的高压炉，包括支架和炉体，所述炉体的内壁贴合有磁场线圈，所述磁场线圈内壁贴合有隔热层，所述隔热层内壁贴合有加热线圈，所述加热线圈内壁贴合有耐热层，所述耐热层内壁下端卡装有坩埚固定座，所述坩埚固定座上端卡装有坩埚，所述坩埚的外壁贴合耐热层的内壁，所述炉体的上端卡装有上封帽，所述炉体的下端卡装有下封帽，所述上封帽与下封帽之间贯穿有紧固螺杆，且紧固螺杆螺装有螺帽；在VGF生长炉炉腔内，设置均匀磁场线圈，产生诱导磁场，在单晶生长期间制造10‑20高斯的均匀磁场，结合子晶的磁性诱导，促使晶体的晶相一致性得到大幅加强，从而提高单晶体的成晶率。

主权项

1.一种用于制备磷化铟单晶的高压炉，包括支架(1)和炉体(4)，其特征在于：所述炉体(4)的内壁贴合有磁场线圈(8)，所述磁场线圈(8)内壁贴合有隔热层(9)，所述隔热层(9)内壁贴合有加热线圈(10)，所述加热线圈(10)内壁贴合有耐热层(11)，所述耐热层(11)内壁下端卡装有坩埚固定座(2)，所述坩埚固定座(2)上端卡装有坩埚(5)，所述坩埚(5)的外壁贴合耐热层(11)的内壁，所述炉体(4)的上端卡装有上封帽(6)，所述炉体(4)的下端卡装有下封帽(15)，所述上封帽(6)与下封帽(15)之间贯穿有紧固螺杆(16)，且紧固螺杆(16)螺装有螺帽。