[实用新型]一种多层膜在线测厚系统有效

专利信息
申请号: 201820523594.8 申请日: 2018-04-13
公开(公告)号: CN208140036U 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 李星辉;华振;王晓浩;倪凯;钟伦超;周倩 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 北京市诚辉律师事务所 11430 代理人: 杨帅峰
地址: 518055 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种多层膜在线测厚系统,能够实时、高精度的获取多层在膜同一探测区域的各层厚度。其中多层膜包括一层不透明基底层和位于所述不透明基底层一侧或两侧的透明涂层。该系统通过激光三角法测量模块获取不透明基底的厚度,通过红外测量模块获取透明涂层的厚度,两个测量模块的被测区域限定在同一位置处,实现多层膜同一区域厚度参数的同时、高精度、在线测量。
搜索关键词: 多层膜 不透明 模块获取 透明涂层 在线测厚 基底层 激光三角法测量 本实用新型 测量模块 红外测量 厚度参数 区域限定 探测区域 同一区域 同一位置 在线测量 层厚度 多层 基底
【主权项】:
1.一种多层膜在线测厚系统,其特征在于,所述多层膜包括:一层不透明基底层和位于所述不透明基底层一侧或两侧的透明涂层;所述测厚系统包括:激光三角法测量模块、红外测量模块和处理模块;所述激光三角法测量模块和红外测量模块对准待测量的多层膜的同一位置;其中所述红外测量模块设置在所述多层膜透明涂层所在侧,用于测量透明涂层的厚度;包括:用于发出设定波段红外光的红外光源;用于将所述红外光调整为准直光束的光束调整装置;用于将所述准直光束筛选为测量光束的波长筛选装置,所述测量光束仅包含透明涂层吸收波段和设定的参考波段;用于将所述测量光束分成参考光路和测量光路的分束装置;用于收集参考光路的光束并投射在探测器A上的光束收集装置A,所述探测器A用于获得参考光路光强的大小,并发送给处理模块;用于收集透过透明涂层后依次被所述不透明基底和分束装置反射后的测量光路光束,并投射在探测器B上的光束收集装置B,所述探测器B用于获得测量光路光强的大小,并发送给处理模块;所述处理模块依据所接收到的参考光强和测量光路光强计算得到透明涂层的厚度;所述三角法测量模块用于测量不透明基底层的厚度,包括:用于发出准直探测光束的激光光源,所述激光光源对准所述多层膜上红外测量模块所测量的区域;用于收集经不透明基底层反射后的探测光束并投射在探测器C上的光学采集装置;所述探测器C将测量到的不透明基底层上像点的位置信息发送给处理模块;所述处理模块依据其内部预设的三角法测量模块的初始位置信息,包括准直探测光束的入射的位置和角度,结合接收到的探测器C所测量的不透明基底层上像点的位置,通过三角法测距算法得到三角法测量模块到与之对应侧的不透明基底层表面的距离,进而计算得到不透明基底层的厚度。
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