[实用新型]显微扫描装置

摘要

一种显微扫描装置包含一光源、一第一镜头组、一第二镜头组、一反射元件、一光路切换元件、一第三镜头组、一感光元件以及一驱动单元，其中光路切换元件选择性接收并输出多个影像光其中之一。亦即，显微扫描装置是利用一光路切换元件，切换来自不同的物镜的待扫描物影像，以取得不同放大倍率的显微扫描影像，因此，无须变动多个物镜的位置。

主权项

1.一种显微扫描装置，其特征在于，包含：一光源，用以提供一照明光照射一物件；一光路切换元件，具有一第一入光光路、一第二入光光路以及一出光光路，用以选择性接收来自该第一入光光路或该第二入光光路的光线，并于该出光光路输出；一第一镜头组，设置于该第一入光光路上，用以汇聚来自该物件的一第一影像光；一第二镜头组，设置于该第二入光光路上，用以汇聚来自该物件的一第二影像光，其中该第一镜头组与该第二镜头组的焦点为共平面且放大倍率相异；一反射元件，设置于该第二镜头组的一出光侧，用以反射该第二影像光至该光路切换元件；一感光元件，设置于该出光光路上，用以接收该第一影像光或该第二影像光，以产生该物件的一影像；一第三镜头组，设置于该感光元件与该光路切换元件之间，用以汇聚该第一影像光或该第二影像光；以及一驱动单元，用以驱动该感光元件与该物件相对移动，以扫描该物件。