[实用新型]一种用于氮化硅粉体合成的预热及保温冷却系统

摘要

本实用新型涉及氮化硅制备领域，公开了一种用于氮化硅粉体合成的预热及保温冷却系统，包括微波等离子预热器和保温冷却器。微波等离子预热器包括氮气管道、第一喷射器、微波等离子火炬、第二喷射器、预热器壳体和盘管；第一喷射器与第二喷射器连接；微波等离子火炬设于第二喷射器内；第二喷射器与盘管连接。保温冷却器包括外壳、冷却盘管和氮气冷却内壳、冷却氮气管道和氮气制冷器；外壳分为保温段和冷却段；氮气冷却内壳设于保温段下区，冷却氮气管道与氮气冷却内壳连通；冷却盘管分别设于保温段上区、氮气冷却内壳和冷却段内。本实用新型的预热及保温冷却系统能耗低、使用寿命长，且制得的氮化硅粉体不易团聚，无需后续研磨粉碎。

主权项

1.一种用于氮化硅粉体合成的预热及保温冷却系统，其特征在于：包括微波等离子预热器和保温冷却器；所述微波等离子预热器包括氮气管道（100）、第一喷射器（101）、微波等离子火炬（102）、第二喷射器（103）、预热器壳体（104）和盘管（105）；所述第一喷射器上设有硅粉添加口（106），所述氮气管道的出料端延伸进入第一喷射器内，第一喷射器的出料端与第二喷射器连接；所述微波等离子火炬设于第二喷射器内；所述盘管设于预热器壳体内，且第二喷射器的出料端与盘管的进料端连接，盘管的出料端延伸出预热器壳体外并与用于合成氮化硅的悬浮反应器连接；所述保温冷却器包括外壳（200）、冷却盘管（201）和氮气冷却内壳（202）、冷却氮气管道（203）和氮气制冷器（204）；所述外壳内设有隔板（205）将其内腔分隔为上下的保温段（206）和冷却段（207）；所述保温段又分为上下两区，所述氮气冷却内壳设于外壳内的保温段下区，所述冷却氮气管道与氮气冷却内壳连通，冷却氮气管道上设有所述氮气制冷器，冷却氮气内壳还与微波等离子预热器的氮气管道连通；所述冷却盘管由上至下分为三段且分别设于保温段上区、氮气冷却内壳和冷却段内，冷却盘管的上端与用于合成氮化硅的悬浮反应器的出料口连接，冷却盘管的下端的出料端延伸出外壳外部；外壳的底部和顶部分别设有进水口（208）和出水口（209），所述隔板上设有上下通水口（210）。